研发一种连续式太阳能集热板芯片真空镀膜中试生产线，该中试线采用磁控溅射技术、中频溅射技术、离子源表面活化等技术，在平板太阳能集热器芯片上反应沉积铝-氮-铝反应系列和二氧化硅叠加的光谱选择性吸收膜层，解决产品生产过程的环境污染问题和提高集热芯片的集热性能和耐候性能。